ESD Risikoevaluation an Prozessanlagen

Für unsere Poolmitglieder führen wir auch ESD-Risikoevaluationen und Abnahmen für robotische Prozessanalgen gemäss Richtlinie 1013 ESD-Forum e.V. durch.

Vorbereitung einer ESD-Risikoevaluation

Am Tag der Abnahme müssen folgende Vorbereitungen getroffen sein:

  1. Bereitstellung eines geeigneten Laborwagens mit Steckdosenleiste für die Unterbringung der Messgeräte
  2. Erteilung einer Fotografiererlaubnis zur Dokumentation von Mängeln
  3. Aufbietung des für die P&P-Anlage zuständigen Tool-Ingenieurs, der
    • den Prozessablauf in der Maschine erklären kann
    • die Maschine im Einzelschrittmodus laufen lassen kann
    • Interlocks an der Maschine überbrücken kann, so dass die Maschine bei geöffneter Abdeckung laufen kann
    • die kleinere Programmierungen an der Maschine vornehmen kann.
  4. Bereitstellung einer angemessenen Zahl von zu verarbeitenden Proben (zum Beispiel beim Pick&Place ab Wafer: (Schrott-) Wafer auf Folie in der standardmässig vorgesehenen Ladekassette. Falls unterschiedliche Chips auf der Anlage verarbeitet werden, sollten Wafer mit den geometrisch grössten und mit den geometrisch kleinsten Chips vorbereitet werden; bei Bestückungsautomaten geeignete Nutzen nach Rücksprache mit uns, Lötpaste und aktive und passive zu bestückende Bauteile in unterschiedlichen Grössen.)
  5. Der firmeneigene ESD-Koordinator sollte in den Untersuchungsablauf mit eingebunden werden.
  6. Die Anlage muss am Prüfungstag in betriebsbereitem Zustand vorgehalten werden. 

Diese Vorbereitungen ersparen im Allgemeinen erhebliche Zeitverluste und wirken Missverständnissen mit den vor Ort Verantwortlichen entgegen.