ESD Risikoevaluation an Prozessanlagen
Für unsere Poolmitglieder führen wir auch ESD-Risikoevaluationen und Abnahmen für robotische Prozessanalgen gemäss Richtlinie 1013 ESD-Forum e.V. durch.
Vorbereitung einer ESD-Risikoevaluation
Am Tag der Abnahme müssen folgende Vorbereitungen getroffen sein:
- Bereitstellung eines geeigneten Laborwagens mit Steckdosenleiste für die Unterbringung der Messgeräte
- Erteilung einer Fotografiererlaubnis zur Dokumentation von Mängeln
- Aufbietung des für die P&P-Anlage zuständigen Tool-Ingenieurs, der
- den Prozessablauf in der Maschine erklären kann
- die Maschine im Einzelschrittmodus laufen lassen kann
- Interlocks an der Maschine überbrücken kann, so dass die Maschine bei geöffneter Abdeckung laufen kann
- die kleinere Programmierungen an der Maschine vornehmen kann.
- Bereitstellung einer angemessenen Zahl von zu verarbeitenden Proben (zum Beispiel beim Pick&Place ab Wafer: (Schrott-) Wafer auf Folie in der standardmässig vorgesehenen Ladekassette. Falls unterschiedliche Chips auf der Anlage verarbeitet werden, sollten Wafer mit den geometrisch grössten und mit den geometrisch kleinsten Chips vorbereitet werden; bei Bestückungsautomaten geeignete Nutzen nach Rücksprache mit uns, Lötpaste und aktive und passive zu bestückende Bauteile in unterschiedlichen Grössen.)
- Der firmeneigene ESD-Koordinator sollte in den Untersuchungsablauf mit eingebunden werden.
- Die Anlage muss am Prüfungstag in betriebsbereitem Zustand vorgehalten werden.
Diese Vorbereitungen ersparen im Allgemeinen erhebliche Zeitverluste und wirken Missverständnissen mit den vor Ort Verantwortlichen entgegen.