PROZESSE & SUBSTRATE

Im Forschungsschwerpunkt „Plasmatechnologie" werden mit den Batchreaktoren Substrate wie Folien, Wafer oder Textilien aktiviert, funktionalisiert oder beschichtet.

METALLISCHE UND KERAMISCHE SCHICHTEN

Mit dem planaren Magnetron lassen sich Targets aus z.B. Silber, Gold, Kupfer, Titan und Kohlenstoff problemlos sputtern (Bild 1). Bei der Verwendung keramischer Targets werden die entsprechenden keramischen Schichten auf die verschiedenen Substrate deponiert. Aktivierungs- oder Ätzgase stehen ebenfalls zur Verfügung. Sie werden oft zur Vorbehandlung von Proben verwendet.

POLYMERARTIGE SCHICHTEN

Die Reaktion erfolgt über einen weiten Parameterbereich mittels Hochfrequenzanregung zur Abscheidung funktionaler Schichten mit unterschiedlichem Vernetzungsgrad. Neben der Abscheidung von Gradientenschichten ist auch Co-Polymerisation möglich.

INNOVATION

Gradientenschichten tragen entscheidend zur Haftverbesserung von Schichten auf einem Substrat bei. Co-Polymerisation führt zur Inkorporierung von beispielsweise Metallen in eine polymere Matrix (Bild 2). Dadurch werden Schichten gezielt nanostrukturiert. Die gewonnenen Erkenntnisse lassen sich durch Hochskalierung auf die Bandbeschichtungsanlage übertragen.

Kontakt

Dr. Dirk Hegemann 
+41 (0)71 274 72 68
dirk.hegemann@empa.ch